Discussing diffractive efficiency of DOEThere are alignment errors , linewidth errors and etching errors infabrication of DOE.

  • 衍射光学元件在制作过程中,存在掩模对准 、 线宽和刻蚀深度等制作误差.

  • 网络文摘精选 2025-01-18 12:51:59

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