Imaging Interferometric Lithography ( IIL) has high resolution of interferometric lithography ( IL) and ability for printing arbitrary patterns of optical lithography ( OL).

  • 成像干涉光刻技术(IIL)具有干涉光刻技术(IL)的高分辨力和光学光刻技术(OL)产生任意形状集成电路特征图形的能力。

  • 互联网摘选 2025-01-20 19:12:09

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