Among the manufacture processes, this thesis focuses deposition of silica waveguide film PlasmaChemical Vapor Deposition ( PECVD ) .

  • 器件制作的工艺流程中本文重点研究了基于半导体技术的二氧化硅薄膜 沉积技术.

  • 互联网摘选 2025-02-24 18:19:05

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