The rooting effect of the structure in deep reactive ion etching ( DRIE ) process was investigated.

  • 给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深 反应离子刻蚀 过程中的过刻蚀现象的方法.

  • 互联网摘选 2025-01-18 12:45:23

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