Aluminum-doped zinc oxide ( ZnO ∶ Al) films are deposited on Corning 1737 glass by RF magnetron sputtering under the substrate temperature of 250 ℃, RF power of 100W and pure argon gas.

  • 在Corning1737玻璃衬底上射频磁控溅射沉积了铝掺杂ZnO薄膜(ZnO∶Al).薄膜沉积在衬底温度250℃、溅射功率100W和纯氩气氛中进行。

  • 互联网摘选 2025-01-20 11:41:02

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