Meran;Italy 意大利;摩兰机场(代码);zone-melt recrystallized (material) 区熔再结晶(材料);

研究结果表明:ZMR对籽晶层的区融、结晶效果比较理想,晶粒尺寸增大到厘米级长、毫米级宽;
来源:互联网摘选The structure and electrical properties of silicon film after ZMR are studied.
对区熔后的硅膜结构和电学性质进行了研究。
来源:互联网摘选研究了区熔再结晶 ( ZMR ) 设备及其工艺特点.
来源:互联网摘选为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量。
来源:互联网摘选提出了一种简化的区熔再结晶方法,利用这种方法在非硅衬底获得了晶粒尺寸达到毫米级、致密的籽晶层。
来源:互联网摘选研究了区熔再结晶(ZMR)设备及其工艺特点。
来源:互联网摘选
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