After feasibility analysis and parameter optimization, a teeterboard pattern MEMS permanent magnet bistable structure supported by a torsion and cantilever beam is fabricated with sacrificial layer technology of non-silicon surface micro fabrication.

  • 在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构。

  • 互联网摘选 2025-01-20 18:51:13

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