This paper summarises the principle, characters, application and trend of development of Plasma Immersion Ion Implantation.

  • 本文扼要地介绍了等离子体湮没离子注入的基本原理 、 特点 、 应用效果及发展趋向.

  • 网络文摘精选 2025-01-18 16:50:03

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