This paper presents a novel compensation technology for the ( 100) silicon convex corner under-cutting with 100 direction masks.

  • 本文首次研究了(100)硅的、边沿<100>方向掩膜的各向异性腐蚀凸角削角补偿技术,成功地解决了上述问题。

  • 互联网摘选 2025-01-20 11:40:06

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