此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器。
来源:互联网摘选本设计主要由一条粘有MEMS加速度传感器的并且可以调整松紧的宽布带和一个小型的底座盒组成,盒中放置了系统的电路板,按键和液晶位于底座盒的表面。
来源:互联网摘选So, how to measure MEMS material or structure mechanical properties has been a key problem.
加之由于其尺度的微小,传统的力学性能测试方法和设备不能直接用于测试,因此, 如何测试MEMS材料(结构)的力学性能成为了关键.
来源:互联网摘选The amplitude-phase curve of MEMS in special driving frequency is got.
通过测量,得到了MEMS器件在特定驱动频率下的幅相特性;
来源:互联网摘选课题的研究实验皆利用东南大学教育部MEMS重点实验室的工艺条件进行,实验采取的方案具有简单易行,成本较低等优势。
来源:互联网摘选介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法.
来源:互联网摘选基于高速图像采集技术和数字图像相关方法,提出了一种用于MEMS动力学特性测试与研究的时间序列数字图像相关方法。
来源:互联网摘选药丸数、加药就诊数和ACTG依从性问卷可结合用于在无法承担MEMS的情况下进行依从性监控。
来源:互联网摘选Structure Design and Optimization of MEMS Micro Tactile Probe for NMM
应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化
来源:互联网摘选除MEMS区域 外, 还面向迩来很受存眷的平面布线科技等.
来源:互联网摘选扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构
来源:互联网摘选在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构。
来源:互联网摘选The study on fabrication process of a high k capacitive MEMS switch is presented.
介绍了一种电容式MEMS开关的制作工艺。
来源:互联网摘选Fabrication of a RF MEMS Switch Using High k Materials as Dielectric Layer
高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究
来源:互联网摘选无创定位技术是MEMS器械用于人体内诊疗过程的重要研究环节之一.
来源:互联网摘选微机电系统(MEMS ) 的发展, 带动了 微细 加工技术的发展.
来源:互联网摘选利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.
来源:互联网摘选Microsystem or micro electromechanical system ( MEMS ) is briefly introduced.
本文简要介绍微系统的涵义、发展和主要特点.
来源:互联网摘选
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