报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术.
来源:互联网摘选甲基丙烯酸树脂光刻胶是传统的光刻胶之一,具有高度的透明性及分辨率.
来源:互联网摘选提出了球面旋涂微米级厚度光刻胶膜层薄化率公式及径向位置演变公式,并得到了膜厚分布的演变公式.
来源:互联网摘选In the paper diazonaphthoquinone positive photoresist composition for LCD was studied.
文章是有关用于LCD的重氮萘醌系正性抗蚀剂的研究.
来源:互联网摘选Therefore, organic pigment must to be fine and symmetrical in the photoresist.
因此, 有机颜料必须以微细、均匀的状态存在于光阻剂中.
来源:互联网摘选We have developed a method to measure the glass transition temperature of photoresist in situ.
我们研究出了一种方法来测量光刻胶玻璃的过渡温度.
来源:互联网摘选本文介绍一种氩离子激光直接成像化学增幅感光树脂.
来源:互联网摘选通过光学功能薄膜、粘合剂、光刻胶和偏光片等的制作和在LCD显示面板制造中的用途,介绍了辐射固化技术在液晶显示器制作中的应用。
来源:互联网摘选本文介绍了采用302负性光刻胶刻制光学度盘的工艺方法。
来源:互联网摘选Method for Controlling Groove Depth and Duty Cycle of Rectangular Photoresist Gratings
一种控制矩形光刻胶光栅槽深和占宽比的方法
来源:互联网摘选研制出的样品经美国SEMATECH实验室应用评价其最佳分辨率为0.1μm,最小曝光量为26mJ/cm2,不但具有优异的分辨率和光敏性,而且还具有良好的粘附性和抗干法腐蚀性。
来源:互联网摘选Dissolution inhibition mechanisms of positive photoresist based on novolak-dnq
酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂溶解抑制机理
来源:互联网摘选本文综述了酚醛重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理,主要包括(1)分子间氢键作用机理;
来源:互联网摘选
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